半導体
クラウドの普及、ビッグデータ、3D-NANDなどの新型チップの工業化は世の中に大きなインパクトを与えました。ダイキンは、これまで培ってきたフッ素技術を活かしたソリューションで、半導体業界に貢献します。
トレンド
クラウドやビッグデータへの対応のため、データセンターの普及が進んでおり、従来のハードディスク代替としてSSD(メモリ)が成長してきました。更に、今後は、ADAS(先進安全システム)の普及や自動運転の実用化により、車載用半導体の需要拡大が予測されています。
ダイキンは、これまで培った品質管理や生産技術のノウハウを活かし、半導体製造装置のシール材、チューブやバルブ、高純度のエッチング剤、エアフィルターなどで、生産性の向上に貢献します。
用途
半導体製造プロセス
高いクリーン性が要求される製造工程で、高純度のエッチング剤が使用されています。
半導体製造装置
耐薬品性・耐熱性に優れたクリーンな材料が求められます。
薬液供給設備
高純度で耐薬品性に優れたフッ素樹脂が幅広く使用されています。
排気ダクト
排気ダクト内面には耐薬品性、難燃性に優れたコーティングが使用されています。